机读格式显示(MARC)
- 000 00874nam0 2200253 450
- 010 __ |a 978-7-03-039898-7 |d CNY38.00
- 100 __ |a 20140515d2014 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 真空镀膜原理与技术 |9 zhen kong du mo yuan li yu ji shu |b 专著 |f 方应翠主编
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014
- 215 __ |a 213页 |c 图,照片 |d 24cm
- 330 __ |a 本书阐述了真空镀膜的应用,以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程,探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法,包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用技术等。
- 701 _0 |a 方应翠 |9 fang ying cui |4 主编
- 801 _0 |a CN |b ZL |c 20140326
- 905 __ |a YNNI |d TN305.8/0001