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- 000 01404nam0 2200301 450
- 010 __ |a 978-7-121-28022-1 |d CNY128.00
- 100 __ |a 20180222d2018 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 等离子体放电与材料工艺原理 |b 专著 |d Principles of plasma discharges and materials processing |f (美)Michael A. Lieberman,(美)Allan J. Lichtenberg著 |g 蒲以康等译 |z eng |9 deng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018
- 215 __ |a 28,536页 |c 图 |d 26cm
- 225 1_ |a 经典译丛 |9 jing dian yi cong |i 微电子学
- 305 __ |a 由美国John Wiley & Sons公司授权出版 据原书第2版译出
- 330 __ |a 本书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、等离子体与表面的相互作用、等离子体诊断、电负性等离子体、脉冲等离子体、容性和感性放电、高频及双频放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
- 510 1_ |a Principles of plasma discharges and materials processing |z eng
- 701 _0 |c (美) |a 力伯曼 |c (Lieberman, Michael A.) |4 著 |9 li bo man
- 701 _0 |c (美) |a 里登伯格 |c (Lichtenberg, Allan J.) |4 著 |9 li deng bo ge
- 702 _0 |a 蒲以康 |f (1961~) |4 译 |9 pu yi kang
- 801 _0 |a CN |b YNNI |c 20180624
- 905 __ |a YNNI |d O53/4026