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规范文档1.激光热敏光刻:原理与方法:principle and method TN305.7/2614
馆藏复本:2
可借复本:2 魏劲松著
清华大学出版社 2022
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规范文档2.等离子体刻蚀工艺及设备 TN305.7/4414
馆藏复本:2
可借复本:2 赵晋荣主编
电子工业出版社 2023
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中文图书3.集成电路与光刻机 TN4/1024
馆藏复本:3
可借复本:2 王向朝,戴凤钊等著
科学出版社 2020
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