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题名/责任者:

激光热敏光刻:原理与方法/魏劲松著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-302-60745-8 精装/CNY129.00

载体形态项:

11,219页:图;24cm

并列正题名:

Laser thermo-sensitive lithography:principle and method

其它题名:

原理与方法

丛编项:

变革性光科学与技术丛书

个人责任者:

魏劲松 (1975~) 著

学科主题:

激光技术-应用-光刻设备-研究

中图法分类号:

TN305.7

一般附注:

“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划·重大出版工程规划项目 国家出版基金项目

提要文摘附注:

本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较；然后阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。

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