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题名/责任者:

低温等离子体诊断原理与技术/叶超编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-03-055475-8 精装/CNY169.00

载体形态项:

340页:图;24cm

并列正题名:

Principle and technology of low temperature plasma diagnosis

丛编项:

等离子体物理丛书

个人责任者:

叶超 (1965~) 编著

学科主题:

低温-等离子体诊断

中图法分类号:

O536

一般附注:

“十三五”江苏省高等学校重点教材

相关题名附注:

封面英文题名:Principle and technology of low temperature plasma diagnosis

提要文摘附注:

本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程，到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用，较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识，总结了该领域近年来的一些新进展，提供了低温等离子体诊断应用的实例。

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