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题名/责任者:

基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著

出版发行项:

北京:中国水利水电出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-5170-7299-7/CNY59.00

载体形态项:

192页:图;24cm

并列正题名:

Research on thermal gradient devices based on MEMS technology

个人责任者:

聂金泉 著

学科主题:

微机电系统-工艺过程设计-研究

中图法分类号:

TH-39

相关题名附注:

封面题英文并列题名：Research on thermal gradient devices based on MEMS technology

提要文摘附注:

本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。书中主要讲述了热梯度器件的设计，热梯度器件的加工与制作，温度控制系统等方面内容。

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