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题名/责任者:

纳机电系统/(法)劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg)，(法)朱利安·阿尔卡莫内(Julien Arcamone)著 曹峥译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-111-59127-6/CNY59.00

载体形态项:

134页:图;24cm

并列正题名:

Nanoelectromechanical systems

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

(法) 特拉夫格 (Duraffourg, Laurent) 著

个人责任者:

(法) 阿尔卡莫内 (Arcamone, Julien) 著

个人次要责任者:

曹峥 译

学科主题:

纳米技术-应用-机电系统-研究

中图法分类号:

TM7

版本附注:

由Wiley授权出版

相关题名附注:

版权页英文题名：Nanoelectromechanical systems

提要文摘附注:

本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。

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