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题名/责任者:

SOI技术:21世纪的硅集成电路技术/(比)考林基(Colinge,J.P.)著 武国英等译

出版发行项:

北京:科学出版社,1993.12

ISBN及定价:

7-03-003757-X/7.90元

载体形态项:

215页;20cm

并列正题名:

Silcon-on-insulator technology

编目员补充题名:

SOI 硅 集成 电路

丛编项:

微电子学系列

个人责任者:

考林基 J.P. 著

个人责任者:

Colinge J.P. 著

个人次要责任者:

武国英 译

学科主题:

绝缘衬底上外延硅MOS集成电路

中图法分类号:

TN432

科图法分类号:

73.7552

一般附注:

书名原文:Silcon-on-insulator technology

责任者附注:

J.P.考林基,比利时鲁汶天主教大学教授

提要文摘附注:

本书包括:SOI材料、SOI材料的表征技术、SOI MOSFET、SOI电路等8章。

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