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- 题名/责任者:
- 等离子体放电与材料工艺原理/(美)Michael A. Lieberman,(美)Allan J. Lichtenberg著 蒲以康等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-121-28022-1/CNY128.00
- 载体形态项:
- 28,536页:图;26cm
- 丛编项:
- 经典译丛.微电子学
- 个人责任者:
- (美) 力伯曼 (Lieberman, Michael A.) 著
- 个人责任者:
- (美) 里登伯格 (Lichtenberg, Allan J.) 著
- 个人次要责任者:
- 蒲以康 (1961~) 译
- 学科主题:
- 等离子体-放电
- 中图法分类号:
- O53
- 中图法分类号:
- O461
- 版本附注:
- 由美国John Wiley & Sons公司授权出版 据原书第2版译出
- 提要文摘附注:
- 本书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、等离子体与表面的相互作用、等离子体诊断、电负性等离子体、脉冲等离子体、容性和感性放电、高频及双频放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
O53/4026 | 06001285622 | 雨花密集存本库 | 阅览 | 雨花密集存本库 | |
O53/4026 | 06001285623 | 雨花理科图书室 | 可借 | 雨花理科图书室 | |
O53/4026 | 06001285624 | 雨花理科图书室 | 可借 | 雨花理科图书室 |
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