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题名/责任者:

微机电系统基础/(美)盖德(Mohamed Gad-el-Hak)主编 赵永梅，段瑞飞，季安译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-111-55733-3 精装/CNY169.00

载体形态项:

13,394页:图;26cm

并列正题名:

MEMS introduction and fundamentals

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

(美) 贾德勒哈克 (Gad-el-Hak, Mohamed) 主编

个人次要责任者:

赵永梅 译

个人次要责任者:

段瑞飞 译

个人次要责任者:

季安 译

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

版本附注:

据原书第2版译出

相关题名附注:

英文原名：MEMS introduction and fundamentals

提要文摘附注:

本书提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。

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